判断题
干法刻蚀通常是利用辉光放电的方法产生带电离子和具有高浓度化学活性的中性原子核自由基,这些粒子和晶圆反应,从而将光刻图形转移到晶圆上。
干法刻蚀通常是利用辉光放电的方法产生带电离子和具有高浓度化学活性的中性原子核自由基,这些粒子和晶圆反应,从而将光刻图形转移到晶圆上。