应停电处理，并用汽油或丙酮擦拭干净。
应用高纯度氮气冲洗３次（压力为一个大气压）。将清出的吸附剂、金属粉末等废物放入20％氢氧化钠水溶液中浸泡12小时后深埋。
不准向大气排放，应采取净化装置回收，经处理检测合格后方准使用。回收时作业人员应站在上风侧。
检修人员需穿着防护服并根据需要佩戴防毒面具或正压式空气呼吸器。
应经专门的安全技术知识培训，配置和使用必要的安全防护用具。
应先检测含氧量（不低于18％）和SF6气体含量是否合格。
应立即报告，查明原因，采取有效措施进行处理。
尽量避免一人进入SF6配电装置室进行巡视，不准一人进入从事检修工作。
应先通风15min，并用检漏仪测量SF6气体含量合格后，方可进入。
应安装能报警的氧量仪和SF6气体泄漏报警仪。
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